KristalÜç hedefli magnetron püskürtücü

Model numarası:VTC-600-3HD

Ürün Genel Bakış:

VTC-600-3HD üç hedefli magnetron püskürtücü evetzuiYeni geliştirilen kaplama ekipmanları, tek katmanlı veya çok katmanlı ferroelektrik film, iletken film, alaşımlı film, yarı iletken film, seramik film, orta film, optik film, oksit film, sert film, politetrafluorovilen film vb. hazırlamak için kullanılabilir. Benzer ekipmanlara kıyasla, sadece yaygın olarak kullanılmakla kalmaz, aynı zamanda küçük boyutlu ve kolay kullanım avantajlarına sahiptir, özellikle laboratuvar çalışmaları için uygun olan katı elektrolitler ve OLED gibi malzeme filmleri hazırlamak için ideal bir cihazdır.

Ana Özellikler:

• Çok çeşitli filmler hazırlanabilir, geniş uygulamalar
• Küçük, kolay kullanım
• Vakum odası, vakum pompası toplama makinesi modüler tasarım, kontrol gücü bölünmüş tasarımdır ve kullanıcının gerçek ihtiyaçlarına göre satın alma ihtiyaçlarını ayarlayabilir.
• Kullanıcının gerçek ihtiyaçlarına göre güç kaynağı seçebilir, bir güç kaynağı birden fazla hedef silahını kontrol edebilir veya birden fazla güç kaynağı tek hedef silahını kontrol edebilir

Magnetron püskürtme kafası：

• Cihazın içine 3 magnetron püskürtme kafası kurulmuştur ve hepsi su soğutmalı katmanlarla donatılmıştır.
• Bu püskürtme kafalarından biri radyo frekans güç kaynağına bağlıdır, çoğunlukla püskürtme yalıtımlı hedefler
• Başka bir püskürtme kafası DC güç kaynağına bağlanır, ana püskürtme iletken hedefi
• Hedef boyutu gereksinimleri: çapı 50mm, kalınlığı 0.1-5mm (hedef malzemesinin farklı kalınlıkları nedeniyle farklıdır)
• RF kablosu yedek olarak ayrı olarak sipariş edilebilir
• Cihaz, hedef başı soğutması için bir su soğutucu içerir

Örnek taşıyıcı：

• Örnek taşıyıcı boyutu: φ140mm (zui4' tabanına yerleştirilebilir)
• Örnek taşıyıcısı dönebilir: 1 - 20 rpm (ayarlanabilir)
• Örnek taşıyıcızuiYüksek ısınabilir sıcaklık 500 ℃

Vakum boşluğu：

• Vakum boşluğu: φ300 mm × 300 mm H, paslanmaz çelikten yapılmıştır
• Gözlem penceresi: Φ100 mm
• Boşluk açma yöntemi, hedef değiştirmeyi daha kolay hale getirir

Gaz Akımı Kontrolörü：

• Ekipmanın içine 2 kütle akım ölçemesi mevcuttur, ölçüm aralığı: 0-100sccm
• Gaz akışı ayarları 6 inç dokunmatik ekranda çalışabilir
• Bu sistemin çalışması için Ar gazı gerekir ve silindirde basınç azaltma valfleri (cihazda dahil değildir) bulunmaktadır.

Vakum Sistemi：

• GZK-103D moleküler pompa sistemi ile donatılmış (Almanya Üretimi)
• Standart 5E-5mbar sınırı 7.4E-6mbar

Film Kalınlığı：

• Hassas bir kuvars titreşimli film kalınlığı ölçücüsü cihazın üzerine kurulmuştur, film kalınlığını gerçek zamanlı olarak 0,10 Å çözünürlükte izler
• LED ekran, aynı zamanda üretilen film hakkında ilgili verileri giriyor

Ürün Boyutu：

• L1300mm×W660mm H1200mm
• Net ağırlık: 160 kg

KristalÜç hedefli magnetron püskürtücü

Model numarası:VTC-600-3HD

Kalite sertifikası:CE sertifikası

Kullanma İpuçları：

• Bu cihaz DIY cihazıdır, parametreler büyük değişiklikler satın almadan önce telefonun dikkatlice iletişim kurduğundan emin olun
• Daha iyi film kalitesi elde etmek için, yüksek saflık gazına girmelidir (> 5N önerilir)
• Kaplama püskürtmeden önce püskürtme kafası, hedef, substrat ve örnek masasının temizliğinden emin olun
• Film ve substrat ile iyi bir bağlantıya ulaşmak için, püskürtmeden önce substrat yüzeyini temizleyin.
• Ultrason temizleme (detaylı parametreler aşağıdaki resime tıklayın): (1) Aceton ultrason (2) Isopropanol ultrason - yağ kaldırma (3) azot kurutma (4) vakum fırın su kaldırma.
• Plazma temizliği: Yüzey sertleştirilebilir, yüzey kimyasal bağlarını etkinleştirebilir ve ekstra kirleticileri çıkarabilir.
• İnce bir tampon katmanı (yaklaşık 5 nm) üretmek: Gr, Ti, Mo, Ta gibi, metal ve alaşımların yapışkanlığını iyileştirmek için uygulanabilir.

Uyarı：

• Not: Ürünün içine yüksek voltajlı bileşenler kurulmuştur, özel olarak demonte edilmesi yasaktır, elektrikli taşınabilir gövde
• Gaz silindirine basınç azaltma valfı takılmalıdır (ekipman standartları dahil değildir), gazın çıkış basıncı sınırı 0,02 MPa'dır.Güvenli kullanım için aşağıdaki
• Sıçrama kafası yüksek voltaja bağlanır. Güvenlik için, operatör cihazı kapatmadan önce örnek almalı ve hedefi değiştirmelidir.