Hassas lazer blokör ekipmanları

Bu makine, sensörler, hassas dirençler, veri toplama kartları ve diğer yüksek hassasiyetli sinyal çıkışı gerektiren cihazlar için özel olarak geliştirilmiş bir lazer ayarlama cihazıdır. Yüksek ayarlama hassasiyeti, hızlı gravür hızı, güvenilir performans, yüksek otomasyon seviyesi ve diğer özelliklere sahiptir.

Lazer blokörü ayrıca lazer lazer kesme sistemi olarak da adlandırılır ve çalışma prensipi: direnci vurmak için son derece ince bir lazer ışını kullanarak, direnci buharlaştırarak devrenin kesilmesini gerçekleştirir. Lazer ışını, direnci bilgisayar tarafından önceden belirlenmiş bir programla kesir ve direncin geometrisini değiştirerek direncin değerini değiştirir. Lazer kesme süreci devam ettikçe, aynı zamanda gerçek zamanlı devre çıkışını ölçerek, direncinin direnci hedef direnci değerine yaklaşmasını sağlar, direnci hedef direnci değerine ulaştıktan sonra lazer ışını kapanır, yani lazer ayarlama süreci gerçekleştirilir.

1. Hassas lazer ayarlama sistemi ve düzeltme teknik ilkesi

Kontrol, mikro bilgisayarın kontrolü altında odaklanmış bir koherent ışık ışığının iş parçasına konumlandırılmasıdır ve belirlenen parametrelere veya direnç değerlerine ulaşmak için ayarlanmak üzere olan iş parçasının membran katmanının gazlanmasını sağlar. Kontrol sırasında yerel sıcaklık artması camı erir ve gazlaştırılan kısmen direnç çubuğunun kenarları cam ile kaplanır ve substrat yüzeyinin kesilen ortamını doldurabilir.
Gelişmiş lazer düzeltme sistemleri, birçok donanım fonksiyonunun yerini yazılım işlemlerinin çoğunluğu ile birçok LSI ve VLSI devresini kullanır. Temel parçalar, lazer, ışın konumlandırma, adım adım tekrarlama ve ölçüm gibi sistemlere doğrudan donanım yoluyla bağlanır. Ölçüm sistemi, hassas köprü ve matris kombinasyonunu kullanan bir pasif ağdan oluşur.

Lazer düzeltme sistemi birçok düzeltme fonksiyonuna sahiptir, karışık entegre devre, kalın film direnci ağı, kapasitif ağı, porselen tabanlı film entegre bileşenleri düzeltebilir, ayrıca D / A ve A / D dönüştürücülerinin hassasiyetini, V / F dönüştürücülerinin frekansını, aktif filtrenin sıfır nokta frekansını ve çalışma amplifikatörünün düzensiz voltajını düzeltebilir. Ayrıca diğer test cihazları ile veri aktarımı için IEEE488 arayüzüne de sahiptir.
Lazer düzeltme sistemi ana olarak aşağıdaki bölümleri içerir:
1) Lazer parçaları
Kararlı ithal lazer kullanılarak, kalın film düzenleme en az noktası 30 μm'ye kadar, darbe tekrarlama frekansı 500 Hz ~ 100 kHz'dir.
(2) Işık ışını konumlandırma sistemi
Doğrusal motor, açık halka ve kapalı halka kontrol akım ölçeri gibi bölünür. X ve Y yönlerinde ışın ışınının konumunu, hızını ve hızlanmasını kontrol edin. Işık ışını konumlandırma ve düzeltme süresini kısaltmak ve yüksek verimlilik sağlamak.
(3) Kontrol Değişme Sistemi
Düşünmeden sonra ışın ışını hareket etmek ve kızılötesi kameraya girmek için kullanılan çıkış sinyalini kontrol etmek için birden fazla zayıflayıcıdan oluşur.
(4) ayarlayıcı düzenleme
Doğrudan lazerlere, ışın konumlandırıcılarına, adım adım tekrarlayıcı masalara ve ölçüm sistemlerine bağlanır. Q frekansını, kazma boyutunu ve kesme düzeltme yönünü programlarla değiştirebilir ve doğruluğu etkilemeden direnç değişikliklerini belirleyebilir. Ayrıca, uzun süreli çalışmada düzeltme ayarlarının istikrarlı kalmasını sağlayan otomatik düzeltme fonksiyonuna da sahiptir.
5) Direnç ve voltaj ölçüm cihazı
Hassas köprü ve matris kombinasyonları ile aktif ağları test etmek için direnç ölçüm hassasiyeti %0.01'e kadar ve ölçüm süresi 5ms'den az. Bu tasarım dış müdahaleleri önler ve ayrıca aktif devre düzenleme sırasında DC gerilimini ölçmek için kullanılabilir.
(6) Otomatik güç ölçüm sistemi
Lazer gücü ölçümü, en az kesinti kullanarak ölçüm yoluyla ölçülmektedir. Mikro bilgisayarla kontrol edilen spiral boru tahrik sistemi ile lazer ışını, zayıflatıcının içindeki% 100 yansıtıcı aynanı geçerek termokopl cihazına yönlendirilir ve daha sonra 1 çok ölçülü güç ölçeğe gönderilir.
Kesme Grafikleri
Lazer ayarlama sırasında, kesilen direnç grafikleri esas olarak aşağıdaki çeşitlerdir:
(1) Tek bıçaklı kesme direnci yöntemi
(2) Çift bıçaklı kesme direnci yöntemi
(3) L tipi kesme direnci yöntemi
(4) çapraz kesim direnci yöntemi
(5) Eğri tip L bıçağının kesimi
(6) Eğri U tipi bıçak açısının kesimi
Gerçek çalışmada, ana uygulama ilk 4 türdür ve farklı dirençler için farklı bıçak kapıları, kare sayısına göre seçilmelidir. Çift kesim ve L tipi bıçak açısı en yaygın olarak kullanılır ve ayarlanmış direnç istikrarı iyi.

4. yaygın kullanılan engel yöntemleri kum püskürtme, lazer ve voltaj darbe ayarı:
Kum püskürtme ayarlaması: Direnç altyapısını püskürtmek ile püskürtmek, direnç pasör katmanının aşınmasını sağlar ve böylece dirençin iletkenlik kesim alanını ve iletkenlik uzunluğunu değiştirir ve belli bir gerekli direnç değerine ulaşır. Normal bir engel programıdır.
Kum püskürtme blokörü ekipmanının fiyatı düşük, ancak blokör hassasiyeti kontrol edilmesi kolay değil, hız yavaş, otomasyon ve seri üretimi kolay değildir.
Lazer ayarlama: Kısa darbeli lazer taraması ile direnç tabakasını kesmek, direnç paspası katmanının lazer ısıtılması tarafından gazlaşmasını sağlamak, belirli bir derinlikte kazı oluşturmak, böylece dirençin iletkenlik kesim alanını ve iletkenlik uzunluğunu değiştirmek, hedef direnç değerinden daha düşük direnç değerinin izin verilen sapma aralığına ayarlanmasını sağlamak, bölüm dirençinin hızlı kitle üretimi için uygulanır.
Lazer blokörünün fiyatı daha yüksek, hassasiyeti kolay kontrol edilir, hızı daha hızlı ve otomasyon ve seri üretimi kolaydır ve devrenin fonksiyonel blokörünü tamamlayabilir, şu anda blokörün ana akım sürecidir.
Lazer hassas işleme, ince film devrelerinin fonksiyonel incelemesi, piezoelektrik kvars rezonans boşluğu ve tek katmanlı filtrelerin incelemesi, optik maske düzeltmesi, dağıtım parametrelerine sahip ultra yüksek frekans devrelerinin incelemesi, optik disk ve bölme levhalarının gravürleri gibi endüstriyel alanlarda giderek daha geniş bir şekilde kullanılacaktır.
Pazar gereksinimlerine göre tasarlanan lazer blokörü, müşteri devre gereksinimlerine göre özellikleri ve müşteri ürünlerini ayarlayabilir.

５. Hassas lazer ayarlama sistemi ayarlama planı

Gelişmiş lazer inceleme sistemi (lazer direnci ayarlama cihazı, lazer direnci ayarlama cihazı) esas olarak aşağıdaki bölümleri içerir:
1) Lazer parçaları
İthal fiber lazeri kullanılarak, kalın film modifikasyonunun en az noktası 38 μm'ye kadar, darbe tekrarlama frekansı 500Hz ~ 100kHz'dir.
(2) Işık ışını konumlandırma sistemi
Doğrusal motor, açık halka ve kapalı halka kontrol akım ölçeri gibi bölünür. X ve Y yönlerinde ışın ışınının konumunu, hızını ve hızlanmasını kontrol edin. Işık ışını konumlandırma ve düzeltme süresini kısaltmak ve yüksek verimlilik sağlamak.
(3) Kontrol Değişme Sistemi
Düşünmeden sonra ışın ışını hareket etmek ve kızılötesi kameraya girmek için kullanılan çıkış sinyalini kontrol etmek için birden fazla zayıflayıcıdan oluşur.
(4) ayarlayıcı düzenleme
Doğrudan lazerlere, ışın konumlandırıcılarına, adım adım tekrarlayıcı masalara ve ölçüm sistemlerine bağlanır. Q frekansını, kazma boyutunu ve kesmenin düzeltme yönünü programlarla değiştirebilir ve doğruluğu etkilemeden direnç değişikliklerini belirleyebilir. Ayrıca, uzun süreli çalışmada düzeltme ayarlarının istikrarlı kalmasını sağlayan otomatik düzeltme fonksiyonuna da sahiptir.
5) Direnç ve voltaj ölçüm cihazı
Hassas köprü ve matris kombinasyonları ile aktif ağları test etmek için direnç ölçüm hassasiyeti% 0,01'e kadar ve sadece 25 µs'lik ölçüm süresi. Bu tasarım dış müdahaleleri önler ve ayrıca aktif devre modifikasyonu sırasında DC gerilimini ölçmek için kullanılabilir.
(6) Otomatik güç ölçüm sistemi
Lazer gücü ölçümü, en az kesinti kullanarak ölçüm yoluyla ölçülmektedir. Mikro bilgisayarla kontrol edilen spiral boru tahrik sistemi ile lazer ışını, zayıflatıcının içindeki% 100 yansıtıcı aynanı geçerek termokopl cihazına yönlendirilir ve daha sonra 1 çok ölçülü güç ölçeğe gönderilir.
Basit engel düzeni:
6. Geliştirme fonksiyonu: El ile kontrol iğnesi ile ekip otomatik hassas ayarlama
1. Lazer ve Kontrol Sistemi: İthal Fiber Lazer Lazer
Optik Konumlama Sistemi: XY Otomatik Kontrol
3. Direnç Ölçüm ve Kontrol Sistemi
4. Manuel İğne
Standart engel düzenleme programı:
Geliştirme fonksiyonu: Otomatik kontrol iğnesi ile toplu elektrik grubunun otomatik olarak hassas ayarlanması.
1. Lazer ve Kontrol Sistemi: İthal Fiber Lazer Lazer
2. optik konumlandırma sistemi: beş boyutlu çalışma yöntemi
3. Direnç Ölçüm ve Kontrol Sistemi
4. Otomatik İğne Kontrol: Otomatik Yukarı ve Aşağı
İzleme sistemi: Çift yollu 3 megapiksel CCD izleme
6. Çevrimiçi fonksiyon engelleme programı:

7. Lazer blokörü türleri

Şu anda blokör fonksiyonuna göre basit blokör ve fonksiyonel blokör iki kategoriye bölünebilir:
Basit engelleme:
Direnci ayarlayın, sabit bir direnç değerine ayarlayın ve direnci tamamlayın. Bu tür cihazlar daha basit.
Fonksiyonel engeller:
Belirli bir devredeki direnci, bu devre modülünün uygun işlevi tamamlaması için hassas bir şekilde ayarlanır. Bu tür cihazlar karmaşıktır ve devre gereksinimlerine uygundur.

Ana teknik parametreler